温湿度控制不好会对净化车间造成的影响

　　净化车间的使用有相对严格的要求。如果车间的相对湿度控制不好，净化车间的整体性能可能会下降，也会带来一系列的影响。影响是什么?下面就跟着兰桥净化一起来看看吧。

　　1、细菌生长。细菌和其他生物污染物(霉菌、病毒、真菌、螨虫)可以在相对湿度超过60%的环境中活跃繁殖。一些菌群在相对湿度超过30%时就可以增长。当相对湿度在40%和60%之间时，细菌和呼吸道感染的影响可以最小化。所以净化车间的相对湿度需要控制在一定范围。

　　2、相对湿度控制不好，容易造成净化车间里的金属腐蚀。很多化学反应的速度，包括腐蚀过程，将随着相对湿度的增高而加快。车间周围暴露在空气中的所有表面都很快被至少一层水覆盖。当这些表面是由可以与水反应的薄金属涂层组成时，高湿度可以使反应加速。一些金属，例如铝，可以与水形成一层保护型的氧化物，并阻止进一步的氧化反应;另一种金属，例如氧化铜，是不具有保护能力的。在高湿度的环境中，铜制表面更容易受到腐蚀。

　　3、净化车间相对湿度控制不好会出现静电荷。当相对湿度超过50%时，静电荷开始迅速消散，但当相对湿度低于30%时，静电荷会在绝缘体或未接地表面上存在很长时间。净化车间相对湿度在35%到40%之间可以作为一个令人满意的折中，半导体车间一般都使用额外的控制装置以限制静电荷的积累。

　　4、吸水性。相对湿度控制不好对净化车间的吸水量有一定影响。

　　5、水汽冷凝。在相对湿度较高的净化车间环境中，浓缩水形的毛细管力在颗粒和表面之间形成了连接键，可以增加颗粒与硅质表面的黏附力。这种效应被称为凯尔文浓度，即当相对湿度小于50%时，这并不重要，但当相对湿度约为70%时，它就成为颗粒间粘附的主要力量。

　　6、净化车间的湿度在40%至60%的范围同样也是人类感觉舒适的适度范围。如果净化车间湿度过高会使人觉得气闷，而湿度低于30%则会让人感觉干燥，皮肤皲裂，呼吸不适以及情感上的不快，从而影响工作。

　　此外，在高相对湿度的环境下，光致抗蚀剂在烘烤循环后由于吸收水分而膨胀和增强。光刻胶附着力同样也可以受到较高的相对湿度的负面影响;较低的相对湿度(约30%)使光刻胶附着更加容易，甚至不需要聚合改性剂，如六甲基二硅氮烷(HMDS)。